Sistem ini menggunakan sensor seperti chromatic confocal (CCM‑L1) dengan titik akuisisi ratusan ribu per detik, menjadikannya ideal untuk R&D, kontrol kualitas dan inspeksi produksi komponen mikro dengan permukaan sangat halus.
Trimos TR Scan Premium Pack 3D
Dengan antarmuka dan perangkat lunak canggih (Nanoware), TR Scan Premium Pack 3D memungkinkan pengukuran 3D lengkap, templat pengukuran pra‑program, serta kemampuan untuk material seperti logam, kaca, silikon, film pelapis, dan komponen optik.
Features
Overview
| Specification | CCM-L1 0.2 mm model | CCM-L1 1 mm model | CCM-L1 4 mm model |
|---|---|---|---|
| Vertical measurement range | 200 µm | 0.95 mm | 3.9 mm |
| Line width | 0.96 mm ± 0.01 mm | 1.91 mm ± 0.01 mm | 4.78 mm ± 0.02 mm |
| Lateral spacing | 5 µm | 10 µm | 25 µm |
| Working distance | 5.3 mm ± 0.2 mm | 18.5 mm ± 0.2 mm | 41 mm ± 0.2 mm |
| Spot size | 2 µm | 4 µm | 10 µm |
| Lateral resolution | 1 µm | 2 µm | 5 µm |
| Accuracy | ± 80 nm | ± 300 nm | ± 1.2 µm |
| Digital opening | 0.7 | 0.55 | 0.33 |
| Maximum measurement angle | 90° ± 44° | 90° ± 33° | 90° ± 20° |
| Thickness measurement range | 20-280 µm | 75 µm-1.35 mm | 300 µm-5.5 mm |
| Minimum Ra measurement | < 0.1 µm | < 0.8 µm | Not applicable |
